佳能发售用于生产车载大型特殊显示器及智能手机显示器的FPD新曝光设备
【慧聪通信网】佳能将在 2024 年 6 月上旬发售支持使用第 6 代玻璃基板※ 1 的 FPD（Flat Panel Display）曝光装置新产品 MPAsp-E1003H。其拥有更大的曝光幅度，生产能力将进一步提升。
MPAsp-E1003H
车载横向大型特殊显示器（示意图）
近年来，随着自动驾驶技术的发展和电动汽车市场的扩大，对于各式各样的车载显示器的需求量越来越高。市场对于车载和智能手机的显示器，要求更轻薄、轻量，高精度，同时面板制造中不仅要确保品质，而且追求更高的生产效率。新品 "MPAsp-E1003H" 依托曝光幅度的扩大技术以及各种新技术的应用，在取得更好的套刻精度的同时还能大幅提升生产效率。
支持使用第 6 代玻璃基板的最大※ 2 的曝光幅度，生产性能提升
新产品采用了投影光学系统，可实现 1.5 μ m ※ 3（L／S ※ 4）的高分辨率，且一次曝光幅度扩大约 1.2 倍※ 5。该投影光学系统曾用于 "MPAsp-H1003H"（2022 年 7 月发售），可用于生产使用第 8 代玻璃基板※ 6 一次性曝光、用于大型电视等的 65 英寸面板。在一块玻璃基板上，如果生产智能手机面板等产品，此前需要 6shot 曝光，而新产品仅需 4shot 曝光，生产性能大幅提升。此外，在生产车载横向大型特殊显示器时，也可以做到无接缝 2shot 曝光。且，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约 60%，tact time 提升约 14% ※ 7，有效提升了量产效率。
【玻璃基板搭载台】
重量相当于一辆中型卡车。为了高效率生产制造高清显示器，需要精确且高速地移动。
曝光幅度约扩大 1.2 倍
现有机种和新产品
智能手机用显示器的 shot 布局示例
大型特殊显示器的 shot 布局示例
根据用途可进行 4 shot 或者 2 shot 曝光
新开发的非线性补正模块，实现高套刻精度
定位测量，REI 模块搭载位置
新产品除了采用和支持第 6 代玻璃基板的 "MPAsp-E813H"（2014 年 9 月发售）一样的每块面板多点同时测量的对位方式，此方式既保证了生产效率也实现了高精度曝光。同时，新产品还搭载了新开发的非线性补正 REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块。搭载 REI 模块后，即使曝光幅度扩大也实现了 ± 0.30 μ m 高套刻精度。
强化制造工艺
新产品沿用了曾经搭载在 "MPAsp-H1003H" 上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构，可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换，从而适配各类制造工序的曝光。
新产品在形成圆弧光的机构中，配备曝光狭缝自动调整机构（SIC：Slit Illuminance Control）。通过自动控制光线通过的狭缝宽度，可以改变曝光光线的强度分布，从而实现稳定的曝光线宽。
曝光狭缝自动调整机构
自动控制光通过狭缝的幅度实现稳定的曝光线宽
同时，新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的 universe chuck，首次实现可应对车载显示器多样化布局需求。
横置的 Plate 和纵置的 Plate
横向纵向皆可固定玻璃基板的 universe chuck
新产品 MPAsp-E1003H 通过强化上述制造工序的工艺应对能力，制造质量更加稳定。
※ 1、1,500 × 1,850mm 尺寸的玻璃基板，用于制造以智能手机为主的中小型显示器面板。
※ 2、佳能生产的支持使用第 6 代玻璃基板的 FPD 曝光设备。
※ 3、1 微米是 1 米的百万分之一（= 千分之一毫米）。
※ 4、Line and Space 的缩写。Line 和 Space 等距排列的图案。
※ 5、和「MPAsp-E813H」比较。
※ 6、2,200 × 2,500mm 尺寸的玻璃基板，现在主要用于制造电视显示器面板。
※ 7、和「MPA-E813H」比较。
※ 8、σ（sigma）为照明系的 NA（开口数）和投影系的 NA 的比。
※ 9、Contact Hole 缩写。为了形成布线而贯穿多层的圆形图案。
佳能的 FPD 曝光设备的工作机制
紫外线
光掩膜
梯形镜
圆弧形曝光区域
凹面镜
凸面镜
感光抗蚀剂 / 基板
佳能的 FPD 曝光设备采用镜面投影方式。镜面投影方式由大凹面镜，小凹面镜和梯形镜组成。通过将光照射在单元上方的光掩模上，光掩模上的电路图案就可以在经过 5 次反射后准确地转印在玻璃基板上。约 1 μ m（1mm 的千分之一）的精细电路图案转印到大型玻璃基板上时，凹面镜特别关键。佳能具有较强的光学技术和生产技术，因而能够研发生产直径约 1.5 米的大型凹面镜。
佳能的曝光方式在光学上具有完全对称的结构，优点是在原理上不会产生因斜射光引起的彗形像差（渗光），也不会因使用镜头的折射光学系统引起光的波长差异进而导致的色差（色偏）。在圆弧形的范围内能够得到优良的成像特性，通过扫描该圆弧形的曝光区域即可实现大面积高分辨率性能。
FPD 曝光设备内部（参考图）
直径
重量
- 合作请联系 -
185 2314 9881
- 热点：
- 相机镜头：
- 镜头：
- 手机：
- 数码：
- 户外：
- 巨巨说：
- 行摄：
- 直播： 永诺直播相机
- 稳定承托：
- 电影机：
- 无人机：盘点
- 音频：
- 灯光：
- 存储：
