佳能发售半导体光刻机解决方案平台“Lithography Plus”通过技术与数据优势,提升光刻机的生产效率 佳能将于2022年9月5日起发售解决方案平台“Lithography Plus1”服务(以下简称“Lithography Plus”),该系统汇聚佳能在半导体制造领域超过50年的技术积淀,以包括曝光工艺在内的海量半导体制造数据为支持,在提升 2022-09-05 14:26